超精密三坐标测量机整机结构设计

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摘 要
本文中，对三坐标测量仪的研究现状和精密测量的关键技术做了总结，对所设计的测量仪的总体布局、床身的选材、导轨的设计、进给方式的选择做了介绍，选用燕尾型气体静压导轨，同步齿形带和钢带传动，摩擦杆进行驱动。对移动桥和溜板进行了简单的ANSYS分析，计算了移动桥受力时最大的变形量和直线度；选用伺服电机作为动力源，并对其进行了简单的功率计算，分析了测量仪的工作环境对其精度的影响和它的应用环境；定位采用开式光栅尺，对光栅尺的选型做了比较。最后针对测量仪整机进行精度分析，查找误差源和精度的综合分析。
关键词：超精密、气静压、高精度、精密测量
目 录
1 绪 论 2
1.1 课题的来源 2
1.2 课题的意义 2
1.3 精密测量的研究现状 2
1.4 精密测量的关键技术 6
2 超精密三坐标测量仪整机机构介绍 8
2.1 总体布局 8
2.2 床身材料选用 9
2.3 导轨的设计 10
2.4 进给传动方式的选择 14
2.5 测量仪整体结构设计 16
2.6 测量仪的工作原理 17
3 测量仪的主要零部件的设计 18
3.1 移动桥的设计 18
3.2 溜板的设计 19
3.3 电机选型 21
3.4 环境控制平台 25
3.5 光栅尺的选型 26
4 测量仪精度分析 27
4.1 测量仪误差源 27
4.2 测量仪精度分析 29
5 结束语 32
参考文献 33
致 谢 34
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