真空熔炉设计

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摘 要

本论文设计的是为冶金工业中用来提高镐基合金性能的设备提供必要条件的系统——真空获得系统，设计主要包括：溶炼室真空机组、熔渗室真空机组、快淬室真空机组的设计等等。
真空获得技术是一切真空应用的技术基础,真空获得设备关系到所有真空应用设备的运行和使用。为了满足设备可以在高真空的条件下工作，所以选择合适的机械泵，罗茨泵，分子泵组成合适的真空机组，使各真空室达到工作的真空条件。
在设计中，为了使溶炼室、熔炼室达到高真空选择机械泵与罗茨泵组成前级泵机组进行预抽达到粗真空，分子泵为高级泵即主抽泵。快淬室在低真空条件下工作选择机械泵、罗茨泵进行抽真空。密封方面，采用了机械密封，密封性能可靠。

关键词：真空机组；机械泵；罗茨泵；分子泵；粗真空；高真空
目 录
1 绪论 1
1.1 非晶合金发展概述 1
1.2 Zr基非晶合金的性能 2
1.2.1 力学性能 2
1.2.2 耐腐蚀性能 4
1.2.3 加工性能 4
1.3 真空获得设备发展概述 4
1.3.1 真空技术发展简介 4
1.3.2 综合评价 5
2 锆基非晶合金真空熔炼压力熔渗炉真空系统设计 6
2.1 工作原理及主要技术性能指标 6
2.2 真空获得系统 7
2.2.1 真空机组选用原则 7
2.2.2 真空泵工作压力范围 8
2.2.3 旋片泵工作原理及其型号确定 10
2.2.4 罗茨泵工作原理及其型号确定 15
2.2.5 罗茨泵真空机组抽气速率 22
2.2.6 分子泵工作原理及其型号确定 23
3 熔炼室壳体计算 28
4 熔渗炉的壳体设计与壁厚计算 29
4.1 壳体壁厚计算 29
4.2 筒体上部大法兰的设计计算 33
5 真空室抽气时间计算 33
5.1 气体沿管道流动状态及流导计算 33
5.2 抽气时间计算 38
5.2.1 粗真空、低真空下抽气时间 38
5.2.2 高真空下抽气时间计算 40
6 结论 42
7 致谢 43
8 参考文献 44...